空气轴承在光刻机的应用
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空气轴承的应用在高速，低摩擦，高温，低温和辐射场合发挥了作用，显示出独特的优势。
光刻机采用的气动轴承专利设计技术，可有效避免因轴承机械摩擦而产生的工艺误差。对准系统的另一个技术问题是显微镜的对准。为了增强显微镜的视野，许多高端光刻机使用LED照明。有两套带对焦功能的对准系统。
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