力敏传感器电桥驱动方式有哪两种
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1、压阻传感器
压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应,在同一硅片上用扩散工艺制作四个半导体应变电阻的传感器。由于其良好的工艺一致性和等灵敏度,具有失调漂移、极小的迟滞和蠕变、动态响应快、测量精度高、稳定性好、温度范围宽、易于小型化、批量生产和使用方便等优点。
2.压阻压力传感器
固体压阻式压力传感器结构传感器的硅膜片两侧有两个压力腔。一个是与被测压力相连的高压腔,一个是与大气相通的低压腔。
3.压电传感器
压电传感器是基于某些材料受力后在其表面产生电荷的压电效应的传感器。它是一种典型的有源传感器,也称为自发电传感器。它具有体积小、重量轻、频带宽、灵敏度高、结构简单、工作可靠等特点。
4.压电加速度传感器
当传感器感受到振动时,质量感受到与传感器底座相同的振动,受到与加速度方向相反的惯性力的作用。这样,质量具有与作用在压电片上的加速度成比例的交变力。由于压电片压电效应,在两个表面上产生交变电荷。当振动频率远低于传感器的固有频率时,传感器的输出电荷(电压)与作用力成正比,即与试样的加速度成正比。
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