光刻机是干嘛的 光刻机的简介
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1. 光刻机又称掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等，是芯片制造的核心设备。它使用了一种类似于光印刷的技术，即通过光照将掩模上的精细图像打印到硅芯片上。光刻机的种类可分为接触曝光、接近曝光和投影曝光。
2. 光刻机的工作原理是通过一系列光源能量和形状控制手段，将光束通过用折线图绘制的掩模传输，然后通过物镜补偿各种光学误差，将折线图按比例缩小并映射到硅芯片上。然后利用化学方法得到蚀刻在硅片上的电路图。
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