三氯氢硅是
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三氯硅烷，化学式SiHCl3，是一种无机化合物，无色透明液体，有刺激性气味，易流动，易挥发。溶于苯、乙醚、庚烷等有机溶剂。易在空气中燃烧，-18以下有着火危险。遇明火燃烧强烈，燃烧时发出红色火焰和白色烟雾，生成SiO2、HCl和Cl2: SiHCl3+O2SiO2+HCl+Cl2三氯硅烷蒸气可与空气形成大范围浓度的爆炸性混合物，受热时发生剧烈爆炸。
三氯甲硅烷是
三氯硅烷一般指三氯硅烷，是一种无机化合物，化学式为SiHCl3。无色液体，溶于苯、乙醚、庚烷等有机溶剂，主要用于制造有机硅化合物。
三氯氢硅烷是一种应用非常广泛的有机硅单体，主要用于生产半导体硅、单晶硅和多晶硅的原料，也是合成有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的最基本单体。
三氯甲硅烷是
三氯氢硅烷也被称为硅氯仿。三氯甲基硅烷。它是一种无色液体，密度为1.34g/cm，可溶于苯、氯仿和二硫化碳。
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