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压阻式压力传感器的工作原理

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硬件型号:XGZP8压阻式压力传感器

系统版本:传感器系统

压阻式压力传感器的工作原理

压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应构成的。采用单晶硅片作为弹性元件,在单晶硅膜上采用集成电路技术,在单晶硅的特定方向上扩散一组等效电阻,并将电阻连接成电桥,将单晶硅片置于传感器腔内。当压力变化时,单晶硅产生应变,使直接扩散在其上的应变电阻产生与被测压力成正比的变化,然后通过电桥电路得到相应的电压输出信号。

压阻式传感器是一种理想的传感器。用于测量直升机机翼气流压力分布、发动机进气动态畸变、叶栅脉动压力和机翼抖动。

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