力敏传感器测量原理
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硬件型号:MP3V5004DP力传感器
系统版本:传感器系统
力传感器的测量原理:电阻应变传感器是通过弹性敏感元件将外界的应力转换成应变,然后根据电阻应变的作用,将电阻应变片转换成电阻值的微小变化,通过测量电桥转换成电压或电流输出。
力传感器是一种将应力、压力等机械量转换为电信号的传感器。力传感器有电阻式、电容式、电感式、压电式和电流式等多种形式,它们各有优缺点。半导体压力传感器的主要技术性能:输出3~20mV/V;准确率0.25%;频率0~ 5000Hz;工作温度-55~120。这种传感器的优点是体积小,成本低,缺点是对湿度非常敏感。压电式力传感器的优点是灵敏度高,工作温度范围宽(-70~250摄氏度),缺点是成本略高。近年来,压电式力传感器的应用领域和市场销量显著扩大。
1. 压阻传感器
压阻式传感器是利用半导体材料的压阻效应,在同一硅片上通过扩散工艺将四个半导体应变电阻制成的一种传感器。由于其具有良好的工艺一致性和等灵敏度,漂移偏置、滞后和蠕变都很小,动态响应快,测量精度高,稳定性好,温度范围宽,易于小型化,可批量生产,使用方便。
工作原理:压阻式传感器的工作原理主要是基于压阻效应,压阻效应是指半导体材料受到外力作用时,其电阻率发生显著变化的现象。
2、压阻式压力传感器
固态压阻式压力传感器在传感器硅膜片的两侧各有两个压力室。一个是与被测压力相连的高压室,另一个是与大气相连的低压室。
3.压电式传感器
压电传感器是基于压电效应,即受力后在某些材料表面产生电荷。它是一种典型的有源传感器,又称自电传感器。它具有体积小、重量轻、频率宽、灵敏度高、结构简单、工作可靠等特点。
工作原理:当某些晶体或多晶陶瓷在一定方向上受到外力作用时,在一定的两个相应的晶体平面上会产生符号相反的电荷。当外力消失时,电荷也消失了;当外力改变方向时,两个晶面上的电荷符号也随之改变。
压电传感器是利用压电效应将机械量转化为电能的装置。
典型的压电材料包括石英晶体、压电陶瓷和聚合物压电材料。
4. 压电式加速度传感器
当传感器感应到振动时,质量块感应到与传感器基座相同的振动,并受到与加速度方向相反的惯性力的作用。这样,质量块有一个与作用在压电板上的加速度成正比的交变力。由于压电板的压电效应,在两个表面上产生交变电荷。当振动频率远低于传感器的固有频率时,传感器的输出电荷(电压)与力成正比,即与试样的加速度成正比。
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